
コンパクトな研究用一体型UVオゾン洗浄改質実験装置!
高出力・長寿命ランプを採用。
コンパクト&ローコストを実現。
200mm×200mmの処理が可能。
高出力・長寿命ランプを採用
200W低圧水銀ランプを3本採用した、高出力・高均斉タイプ。
300mm×300mmの大面積の処理が可能。
高出力・長寿命の110W低圧水銀ランプと回転ステージを組み合わせ、300角サイズのワークの処理が可能。
的確な性能設計技術と豊富なバリエーション
本体と接続することにより、排気設備の無い場所でも安心してご利用頂けます。
本ユニットをUVオゾン洗浄装置と組み合わせることにより、N2(窒素)やO2(酸素)雰囲下で、UV洗浄、UV表面改質を行うことが可能です。
本ユニットをUVオゾン洗浄装置と組み合わせることにより、加熱しながら同時に洗浄表面改質をすることが可能です。
UV洗浄後の表面の清浄度を評価する手段としては、水滴を表面に滴下して水に対する濡れ性(接触角)を測定する方法が、簡便で短時間に評価できることから、一般的に用いられています。