製品紹介

UV洗浄表面改質装置

ASM401N イメージ

ASM401N

コンパクトな研究用一体型UVオゾン洗浄改質実験装置!

ASM1101N イメージ

ASM1101N

高出力・長寿命ランプを採用。
コンパクト&ローコストを実現。

ASM2001N イメージ

ASM2001N

200mm×200mmの処理が可能。試験研究からセミ生産まで対応可能。

ASM2003N イメージ

ASM2003N

高出力・長寿命ランプを採用
200W低圧水銀ランプを3本採用した、高出力・高均斉タイプ。
300mm×300mmの大面積の処理が可能。

ASM2503N イメージ

ASM2503N

仕様電源を単相100V、またUVランプの冷却方法を
従来の水冷から空冷にすることにより、
ユーティリティの負担を軽減した装置です。

ASM401 OZ(オーゼット) イメージ

ASM401 OZ(オーゼット)

50mm角対応ASM401Nとオゾン分解装置を一体化した、よりコンパクトなモデル。
従来場所をとっていたダクトやブロワなどの設置場所が不要です。

ASM1101NT イメージ

ASM1101NT

高出力・長寿命の110W低圧水銀ランプと回転ステージを組み合わせ、300角サイズのワークの処理が可能。

AKT20001N-01 イメージ

AKT20001N-01

照射空間を密閉構造とすることにより、N2やO2等の雰囲気下でUV照射を可能にいたしました。

フォトニッククリーナー ASM401iMP イメージ

フォトニッククリーナー ASM401iMP

特殊形状のランプにより、小型立体物への洗浄を可能。

ASM1102N-01 イメージ

ASM1102N-01

紫外線ランプを上下に二列配置することにより、100mm角のワークに対し、同時に両面照射が可能です。

オゾン分解装置(標準装置) イメージ

オゾン分解装置(標準装置)

本体と接続することにより、排気設備の無い場所でも安心してご利用頂けます。

オゾン分解装置(カスタマイズ) イメージ

オゾン分解装置(カスタマイズ)

弊社UV照射装置向け以外に、他社製コロナ放電装置、エキシマ照射装置等向けにオーダーメードのオゾン分解装置をご提供いたします。

O2用、N2用流量計付きレギュレーター イメージ

O2用、N2用流量計付きレギュレーター

O2雰囲気下、N2雰囲気下でのUV照射が簡易に行えるよう流量計付きのレギュレーターをオプションでご用意いたしました。

ホットプレート(ヒーター) イメージ

ホットプレート(ヒーター)

本ユニットをUVオゾン洗浄装置と組み合わせることにより、加熱しながら同時に洗浄表面改質をすることが可能です。

ターンテーブル イメージ

ターンテーブル

本ユニットを使用することにより、より均一な紫外線照射を実現できます。

UV洗浄表面改質装置 量産用 イメージ

UV洗浄表面改質装置 量産用

的確な性能設計技術と豊富なバリエーション

エキシマ照射装置(波長:172nm) イメージ

エキシマ照射装置(波長:172nm)

RF放電のランプを採用している為、ちらつきの少ない安定した出力。
平面型ランプの採用で、大面積で均一な照射を実現。

接触角計/ぬれ性評価装置 イメージ

接触角計/ぬれ性評価装置

UV洗浄後の表面の清浄度を評価する手段としては、水滴を表面に滴下して水に対する濡れ性(接触角)を測定する方法が、簡便で短時間に評価できることから、一般的に用いられています。