製品紹介

UV洗浄表面改質装置

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[即納 ! ] ASM401N

コンパクトな研究用一体型UVオゾン洗浄改質実験装置!

[即納 ! ] ASM1101N イメージ

[即納 ! ] ASM1101N

高出力・長寿命ランプを採用。
コンパクト&ローコストを実現。

ASM2001N イメージ

ASM2001N

200mm×200mmの処理が可能。 

ASM2003N イメージ

ASM2003N

高出力・長寿命ランプを採用
200W低圧水銀ランプを3本採用した、高出力・高均斉タイプ。
300mm×300mmの大面積の処理が可能。

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ASM1101NT

高出力・長寿命の110W低圧水銀ランプと回転ステージを組み合わせ、300角サイズのワークの処理が可能。

UV洗浄表面改質装置 量産用 イメージ

UV洗浄表面改質装置 量産用

的確な性能設計技術と豊富なバリエーション

オゾン分解装置 イメージ

オゾン分解装置

本体と接続することにより、排気設備の無い場所でも安心してご利用頂けます。

パージ用ボックス イメージ

パージ用ボックス

本ユニットをUVオゾン洗浄装置と組み合わせることにより、N2(窒素)やO2(酸素)雰囲下で、UV洗浄、UV表面改質を行うことが可能です。

ホットプレート(ヒーター) イメージ

ホットプレート(ヒーター)

本ユニットをUVオゾン洗浄装置と組み合わせることにより、加熱しながら同時に洗浄表面改質をすることが可能です。

接触角計/ぬれ性評価装置 イメージ

接触角計/ぬれ性評価装置

UV洗浄後の表面の清浄度を評価する手段としては、水滴を表面に滴下して水に対する濡れ性(接触角)を測定する方法が、簡便で短時間に評価できることから、一般的に用いられています。