パージ用ボックス

本ユニットをUVオゾン洗浄装置と組み合わせることにより、N2(窒素）やO2（酸素）雰囲下で、UV洗浄、UV表面改質を行うことが可能です。

洗浄改質対象物を専用のボックスに入れ、上部の合成石英ガラスの窓を通して紫外線を照射することにより、少ない気体の流量で、より効果的な洗浄、改質を行うことができます。