UV洗浄表面改質とは
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UV洗浄の仕組み

UV洗浄の原理は、低圧水銀ランプから発する紫外線の短波長光エネルギーが、基板表面上の有機汚染物質の結合を分解します。

また、同時に紫外線により発生したオゾンから分離した活性酸素(O)が、有機汚染物質と化学的に結合し、二酸化炭素や水などの揮発性物質に分解反応させて除去します。

一般的に有機物質の汚れに対して洗浄効果があり、無機物質の汚れに対しては洗浄効果がありません。

1) 洗浄処理前

洗浄処理前 イメージ

2) UV照射

UV照射 イメージ

UVランプから照射される184.9nmの波長の紫外線により、酸素分子が分解され、酸素原子が生成されます。また有機汚染物質の結合も分解されます。

3) UV照射

UV照射 イメージ

分解された酸素原子が、大気中のO2(酸素分子)と結合し、O3(オゾン)が生成されます。

4) UV照射

UV照射 イメージ

発生したO3(オゾン)に253.7nmの波長の紫外線が、照射されるとオゾンは分解され、励起状態のO-(活性酸素)が生成されます。

5) 汚染物質除去

汚染物質除去 イメージ

2)~4)が同時に繰り返され、活性酸素が豊富な状態になり、生成された活性酸素は、基板上の汚染物質C(炭素)と結合し、CO2等の揮発性物質になり除去されます。