UV洗浄の原理は、低圧水銀ランプから発する紫外線の短波長光エネルギーが、基盤表面上の有機汚染物質の結合を分解します。
また、同時に紫外線により発生したオゾンから分離した活性酸素（O)が、有機汚染物質と化学的に結合し、二酸化炭素や水などの揮発性物質に分解反応させて除去します。
UV洗浄の原理は、低圧水銀ランプから発する紫外線の短波長光エネルギーが、基盤表面上の有機汚染物質の結合を分解します。
また、同時に紫外線により発生したオゾンから分離した活性酸素（O)が、有機汚染物質と化学的に結合し、二酸化炭素や水などの揮発性物質に分解反応させて除去します。