エキシマ照射装置について|よくある質問

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エキシマ照射装置について

Q.遮光して使用する必要はありますか?
A.そもそもエキシマ光は、大気中では長い距離まで届きません。ASM86 Excimerは、さらに安全を期し、遮光カバーで光源を覆っており、またインターロックにより、入口が開いた場合は、即座に消灯します。

Q.N2(窒素)パージは必要ですか?
A.ASM86 Excimerは基本的にN2(窒素)パージは不要です。

Q.最初の暖気運転は必要ですか?
A.エキシマランプは瞬時点灯可能です。低圧水銀ランプと異なり、特に暖気運転は不要です。

Q.ランプとの照射距離で気をつけることはありますか?
A.エキシマランプ光源と処理対象物との距離を近づけてください。推奨は5mm以内です。距離が離れる程、エキシマ光が酸素に吸収されてしまい、効果が薄れます。そのため、フィルムや平板など凸凹のないワークの処理に適しています。

Q.エキシマランプからの熱はどれくらいですか?
A.ASM86 Excimerで使用されるランプ表面は、最大で200℃程度になります。熱に弱いサンプルの場合は、照射時間をあまり長くしないようにしてください。

Q.使用してはいけないワークはありますか?
A.フッ素樹脂は絶対に入れないでください。フッ素樹脂が分解されてランプに悪影響を及ぼす可能性があります。

Q.フィルム状のワークのエキシマ照射は可能ですか?
A.はい、可能です。ただしオゾン排気用途に、吸引している為、 フィルムがばたつかないようにする必要があります。

Q.移動照射モード(スキャンモード)は、どのような照射位置になりますか。
A.移動照射モード(スキャンモード)は、エキシマランプの発行面(幅86mm×奥行40mm)の 直下を通過する動作モードです。

※ 下記画像をクリックすると、動作イメージを再現します。


Q.停止照射モードは、どのような照射位置になりますか。
A.停止照射モードは、エキシマランプの発行面(幅86mm×奥行40mm)の 直下でいったん停止し、照射する動作モードです。
※ 下記画像をクリックすると、動作イメージを再現します。


Q.サンプルワークの厚みは、最大どれくらいまで可能ですか?
A.ASM86 Excimerは、最大40mmの厚さまで照射可能です。

Q.洗浄の評価方法はどのようにしたら良いでしょうか?
A.接触角計を用いて接触角を測定する方法が一般的です。簡易的に確認する場合は、ダインペンを用いて判断する方法もあります。原子レベルで判断したい場合には、XPSを用いるケースもあります。

Q.改質の処理効果はどれくらい持続しますか?
A.材料にもよりますが、処理後の経過時間とともに照射前の状態に戻っていきます。

Q.オゾン排気はどのように行ったらよいでしょうか?
A.エキシマランプ直下では、大気中の酸素よりオゾンが発生します。ASM86 Excimerには、オゾン分解ユニットが標準装備ですので、特に対策は不要です。


Q.ASM86 Excimer を試すことは可能ですか?
A.レンタル貸出装置をご用意しております。お気軽にご相談ください。

Q.カスタマイズは可能でしょうか?
A.搬送方法など対応可能です。お気軽にご相談ください。

Q.ASM86 Excimer の使用にあたり法的な規制はありますか?
A.ASM86 Excimer は、電波法に基づく高周波利用設備の設置の届け出対象外です。

Q.エキシマ洗浄はどのような工程に利用されているのですか?
A.TFT液晶ガラス基板の湿式前洗浄や成膜工程の洗浄に特に利用されています。

Q.エキシマランプとワークの距離はどこをみればいいのですか?
A.下記の写真の距離を測り、ランプのセットバック分0.6mmを足した距離にになります。

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