UV洗浄表面改質データ(材質別)|処理事例

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UV洗浄表面改質データ(材質別)

ITO基板( Indium Tin Oxide:酸化インジウムスズ)

サイズ 100×100mm
9ポイント各点測定(測定ポイントは右図参照)
UV洗浄装置ASM1101N
照射時間180s
照射距離 30mm
接触角計B100
着液量0.5μL
9ポイント各点測定

【着液後2秒後の測定データ】

測定ポイント123456789平均標準偏差
洗浄前82.8783.9589.2284.3184.1588.9289.4186.4784.185.932.61
洗浄後15.9218.7620.2318.2118.3218.4317.4119.2817.9518.281.20
測定データ

【照射距離及び照射時間推移データ】

照射時間[sec]0306090120150180240300
照射距離10mm87.1364.3823.6419.7918.2716.7316.2716.5314.28
照射距離30mm87.1363.3351.0016.5715.8420.2717.0014.8020.98
照射距離50mm87.1372.3661.0927.9629.5130.0019.9117.7815.11
測定データ

SiCウエハ

サイズΦ104mm
5ポイント各点測定(測定ポイントは右図参照)
UV洗浄装置ASM1101N
照射時間300s
接触角計B100
着液量0.5μL
5ポイント各点測定

【着液2秒後のデータ】

C面

測定ポイント12345平均標準偏差
洗浄前65.1364.8162.3567.3863.6364.661.87
洗浄後4.704.614.975.444.954.930.32
ye0027-0004 C面
C面グラフ

Si面

測定ポイント12345平均標準偏差
洗浄前33.7236.7435.8237.3336.1835.961.38
洗浄後4.504.584.404.535.374.680.39
ye0027-0004 Si面
Si面グラフ

各種材料

材質SUS347
UV洗浄装置ASM1101N
条件照射距離:10mm

照射時間:300s

接触角計B100
条件液滴量:1μL 着液2sec後計測値
12345
洗浄前98.5198.7298.4298.7998.56
洗浄後12.3313.2612.2113.2114.02
SUS347
材質インコネル600
UV洗浄装置ASM1101N
条件照射距離:10mm

照射時間:300s

接触角計B100
条件液滴量:1μL 着液2sec後計測値
123
洗浄前95.6997.6594.57
洗浄後18.6424.6421.91
SUS347
材質チタン (99.5%)
UV洗浄装置ASM1101N
条件照射距離:10mm

照射時間:300s

接触角計B100
条件液滴量:1μL 着液2sec後計測値
12345
洗浄前98.2598.2397.6897.8398.19
洗浄後6.166.477.046.487.17
チタン (99.5%)
材質
UV洗浄装置ASM1101N
条件照射距離:10mm

照射時間:300s

接触角計B100
条件:液滴量:1μL 着液2sec後計測値
12345
洗浄前104.41103.27103.04103.77105.71
洗浄後24.8326.7427.552726.46
銅

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