UV洗浄表面改質例
UVオゾン洗浄表面改質は、多くの業界で利用されています。特に液晶・有機ELパネル等フラットパネル製造業界での導入事例が多く見られます。また、それ以外にも接着性・密着性向上の為に自動車部品やスマートフォンの外装の製造工程、細胞培養向けに濡れ性向上などにも導入されています。
| 対象物・製品 | 素 材 | 用途・効果 |
|---|---|---|
| フラットパネル 液晶ディスプレイ プラズマディスプレイ 有機EL ほか | ガラス カラーフィルター ITOフィルム キャップガラス | ガラス表面の有機系皮膜の除去 ガラスとITOの密着性向上 ITOと絶縁膜との密着強度向上 各種塗布膜の親水化 |
| リードフレーム ICチップ レーザー ほか | リードフレーム シリコンウェハ ガラスウェハ レーザー素子 | パッケージの前処理 ウェハ表面の有機系皮膜の除去 金鍍金表面の有機系皮膜の除去、親水化 レジストのUVアッシング |
| ピックアップレンズ、センサー 半導体製造用レンズ 単結晶 水晶振動子 等 | ガラスレンズ 樹脂レンズ 水晶振動子 セラミック | レンズ表面の有機系皮膜の除去 樹脂レンズ表面の親水化 金属系蒸着膜との密着性向上 コーティング、貼合せ各前処理 |
| プリント基板 銅基板 セラミック基板 ほか | ガラスエポキシ 酸化アルミニウム 液晶ポリマー | メッキ加工の前処理 レジスト膜表面の有機物除去 はんだとの密着性向上 ナノインプリント用モジュールの洗浄 |
| 圧電ブザー セラミックLSI ほか | セラミック | セラミック部品蒸着前処理 セラミック部品密着性向上 |
| 携帯電話外装 コネクター スイッチ 自動車内装品 ほか | エポキシ ウレタン シリコン プラスチック | 塗装と樹脂基材との密着性向上 蒸着膜と樹脂基材との密着性向上 接着剤と樹脂基材との接着性向上 布と樹脂基材との接着性向上 |
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