オゾン濃度データ

オゾン濃度データ

UVオゾン洗浄表面改質は、下記の三つの効果により対象物の表面を洗浄改質します。

1)波長184.9nm の光が持つエネルギーによる洗浄改質効果
2)波長253.7nm の光が持つエネルギーによる洗浄改質効果
3) 発生したオゾンO3による洗浄改質効果

通常は、排気風量によりUV照度を最大になるよう調整されていますが、
オゾンによる影響などを確認することも可能です。
各標準装置において排気風量を調整することによるオゾンの変化を測定しました。

ASM1101Nとチャンバー内オゾン濃度推移事例

使用機材

装置名型式メーカー
UV洗浄表面改質装置ASM1101N (S/N 212245)あすみ技研製
オゾン分解装置AOZ013(S/N 4)あすみ技研製
オゾンモニタEG-3000D (S/N 1251182)荏原実業製
紫外線照度計UV-M03A (S/N K303926)オーク製作所製
風速計WS-06 (S/N 001/T.018335)カスタム製
データロガーGL240 (S/N C10731393)グラフテック製

測定条件

オゾン濃度測定箇所:ASM1101N背面部ダクト測定用フランジより極力ダクト中心部に取り込みチューブの先端を配置。

UV照度(254nm)の測定場所:ランプより距離30mm、ステージ中央。

排気風量 1㎥/min

経過時間(s)60120180240300360420480540600
オゾン濃度(ppm)18.418.619.418.118.519.219.018.618.719.0
UV照度(mW/cm224.224.823.524.324.424.224.423.424.024.0

排気風量 0.45㎥/min

経過時間(s)60120180240300360420480540600
オゾン濃度(ppm)48.745.644.345.745.746.345.745.246.044.2
UV照度(mW/cm222.521.819.817.516.615.215.015.014.813.9

紫外線照度は、排気風量 1㎥ に比べ抑えたため、UVランプ冷却不足で照度自体は低下していますが、オゾン濃度は2倍以上となります。

ASM2001Nとチャンバー内オゾン濃度推移事例

使用機材

装置名型式メーカー
UV洗浄表面改質装置ASM2001N(S/N 212734)あすみ技研製
オゾン分解装置AOZ014(S/N 8)あすみ技研製
オゾンモニタEG-3000D (S/N 1251182)荏原実業製
紫外線照度計UV-M03A (S/N K303926)オーク製作所製
風速計WS-06 (S/N 001/T.018335)カスタム製
データロガーGL240 (S/N C10731393)グラフテック製

測定条件

オゾン濃度測定箇所 背面部ダクト測定用フランジより極力ダクト中心部に取り込みチューブの先端を配置。

UV照度(254nm)の測定場所。ランプより距離30mm、ステージ中央。


風量 1.1㎥/min(ダンパー1/2開)

経過時間(s)60120180240300360420480540600
オゾン濃度(ppm)27.927.927.327.426.927.328.828.527.727.8
UV照度(mW/c㎡)33.233.032.732.832.332.532.732.732.632.7

風速 0.2㎥/min(ダンパー全閉)

経過時間(s)60120180240300360420480540600
オゾン濃度(ppm)90.5104.1110.1122.5117.1126.6130.9128.0130.2128.9
UV照度(mW/c㎡)12.28.26.35.14.54.34.74.64.74.7

風量 1.5㎥/min(ダンパー全開)

経過時間(s)60120180240300360420480540600
オゾン濃度(ppm)23.123.122.622.822.622.323.122.322.123.0
UV照度(mW/c㎡)30.732.532.433.133.433.633.433.633.633.7

ASM2503Nとチャンバー内オゾン濃度推移事例

使用機材

装置名型式メーカー
UV洗浄表面改質装置ASM2503N(S/N 212565)あすみ技研製
オゾン分解装置AOZ093(S/N 201)あすみ技研製
オゾンモニタEG-3000D (S/N 1251182)荏原実業製
紫外線照度計UV-M03A (S/N K303926)オーク製作所製
風速計WS-06 (S/N 001/T.018335)カスタム製
データロガーGL240 (S/N C10731393)グラフテック製

測定条件

オゾン濃度測定箇所 背面部ダクト測定用フランジより極力ダクト中心部に取り込みチューブの先端を配置。

UV照度(254nm)の測定場所。ランプより距離30mm、ステージ中央。


風量 5.5㎥/min(ダンパー全開)

時間(s)60120180240300360420480540600
オゾン濃度(ppm)26.828.127.427.527.727.727.928.127.327.2
UV照度(mw/c㎡)29.029.028.928.829.129.028.328.829.129.3


風量 4.3㎥/min(ダンパー1/2開)

時間(s)60120180240300360420480540600
オゾン濃度(ppm)32.732.932.432.832.531.832.733.032.332.2
UV照度(mw/c㎡)28.028.328.227.928.528.328.428.228.628.9

風量 0.5㎥/min(ダンパー全閉)

時間(s)60120180240300360420480540600
オゾン濃度(ppm)132.3152.9151.7131.3155.0137.5136.9137.7137.2158.9
UV照度(mw/c㎡)16.917.318.018.217.516.415.815.014.213.4

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