エキシマ照射装置（波長：172nm）|エキシマ照射装置|製品紹介

エキシマランプには、希ガスを封入したランプ内で発生する放電プラズマ（誘電体バリア放電）により発生する光（エキシマ光）を利用したものです。

主な波長としては126nm(Ar2)、146nm(Kr2)、172nm(Xe2)、222nm(KrCl)、308nm(XeCl)があります。

弊社では、Xe2を利用した172nmを主波長としたランプユニットを採用し、表面改質、親水化処理処理（濡れ性向上）用途の装置をご提供しています。

エキシマランプの特徴

• RF(高周波）放電のランプを採用している為、ちらつきの少ない安定した出力。
• 平面型ランプの採用で、大面積で均一な照射を実現。