オゾン分解装置（カスタマイズ）|オゾン分解装置|製品紹介

当社UV照射装置向け以外に、オーダーメードのオゾン分解装置をご提供いたします。

【導入事例】

• 他社製エキシマ照射装置向けに、排気ブロワー付属タイプ。
• 他社製110W紫外線洗浄表面改質装置（セン特殊光源製 PL16-110）接続用途。
• コロナ放電装置（数10ppm）に排気ブロワー付属タイプ。
• UV硬化装置向け（約1ppm、高排気風量）用途。
• プラズマ表面改質装置（約100ppm）用途。
• 専用排気設備の導入を避けるために、分解装置を導入。
• 量産用エキシマ装置への排気用用途。

仕様設計に必要なオゾン濃度、排気温度、風量測定なども近県に限りご対応しております。オゾンが発生する装置の型式等から、オゾン分解装置の仕様を決めることも可能ですので、お気軽にご相談ください。

下記お見積り依頼書に必要事項をご記入の上、ご依頼いただければ、仕様等ご提案いたします。