オゾン分解装置(カスタマイズ)
当社UV照射装置向け以外に、オーダーメードのオゾン分解装置をご提供いたします。
【導入事例】
- 他社製エキシマ照射装置向けに、排気ブロワー付属タイプ。
- 他社製110W紫外線洗浄表面改質装置(セン特殊光源製 PL16-110)接続用途。
- コロナ放電装置(数10ppm)に排気ブロワー付属タイプ。
- UV硬化装置向け(約1ppm、高排気風量)用途。
- プラズマ表面改質装置(約100ppm)用途。
- 専用排気設備の導入を避けるために、分解装置を導入。
- 量産用エキシマ装置への排気用用途。

仕様設計に必要なオゾン濃度、排気温度、風量測定なども近県に限りご対応しております。オゾンが発生する装置の型式等から、オゾン分解装置の仕様を決めることも可能ですので、お気軽にご相談ください。


下記お見積り依頼書に必要事項をご記入の上、ご依頼いただければ、仕様等ご提案いたします。

オゾン分解装置カスタマイズ事例
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