オゾン分解装置(カスタマイズ事例)|オゾン分解装置|事例紹介

オゾン分解装置(カスタマイズ事例)

エキシマ照射ユニット(浜松ホトニクス株式会社製エキシマ照射ユニット FLAT EXCIMER EX-400)向けオゾン分解ユニットの製作事例です。

ランプ冷却ユニットから発生するオゾンとエキシマ照射エリアから発生するオゾンを個別に排気・分解することにより、オゾンによる改質効果を調整できるようにしました。

エキシマランプ照射部用オゾン分解装置


ASM512B接続例

ASM512B接続例

項目仕様
装置名エキシマランプ照射部用オゾン分解装置
型式ASM512B
電源電圧AC100V 50Hz 1.2A 125W
※制御ボックス内端子台受け(3φ200V対応可能)
触媒ボックス外形寸法:(W)367mm×(D)248mm×(H)276.2mm
ボックス材質:SPCC (塗装:アイボリー7.5Y9/1)
パッキン材質:シリコン
制御ボックス外形寸法:(W)180mm×(D)111.2mm×(H)243.2mm
ボックス材質:SPCC (塗装:アイボリー7.5Y9/1)
インバータ・ノーヒューズブレーカ付
触媒オゾン分解フィルター 4面3層
送風機最大風量:60.0㎥/min
最大静圧:0.59kPa
インバータボックス接続用ケーブル付:2m
付属品φ100マニュアルダンパー×1
φ100塩ビダクトース1.5m×1
φ100カフス×2
ホースバンド×6

EX-400の照射エリアのオゾン濃度は40ppm程度になりますが、ASM512Bを使用すると0.1ppm以下にすることが可能です。工場排気に接続しなくても、室内排気(クリールーム内不可)が可能になります。お客様で排気風量を決定して頂ければ、その風量に合わせたユニットのご提案も可能です。また触媒ボックスをSUS304やSUS316に変更することも可能ですので、お気軽にご相談下さい。

エキシマランプ照射冷却排気用オゾン分解装置


ASM504B接続例

ASM504B接続例

項目仕様
装置名エキシマランプ照射冷却排気用オゾン分解装置
型式ASM504B
電源電圧AC100V 50Hz 1.2A 45W
※送風機ケーブル端末未処理 (ケーブル長170mm)
触媒ボックス外形寸法:(W)241mm×(D)128mm×(H)184.2mm
ボックス材質:SPCC (塗装:アイボリー7.5Y9/1)
パッキン材質:シリコン
触媒オゾン分解フィルター 4層
送風機最大風量:2.0㎥/min
最大静圧:0.41kPa
付属品φ75マニュアルダンパー×1
φ75塩ビダクトース1.5m×1
φ75カフス×2
ホースバンド×6

ASM504BをEX-400のランプユニットのフランジへ接続して頂き、ダンパーを絞って風量を下げて使用して頂く装置になります。ランプユニット側の排気適正風量は0.35㎥/minになります。

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