O2用、N2用流量計付きレギュレーター
O2雰囲気下、N2雰囲気下でのUV照射が簡易に行えるよう流量計付きのレギュレーターをオプションでご用意いたしました。
本体装置導入後でも、追加が可能です。
【特長】
- ワンタッチでガス配管チューブと接続
【対応機種】 ASM401Nを除く全機種
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