O2用、N2用流量計付きレギュレーター|R&D用小型装置オプション|製品紹介

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O2用、N2用流量計付きレギュレーター

O2雰囲気下、N2雰囲気下でのUV照射が簡易に行えるよう流量計付きのレギュレーターをオプションでご用意いたしました。

本体装置導入後でも、追加が可能です。

レギュレーター イメージ

特長

  • ワンタッチでガス配管チューブと接続

対応機種】 ASM401Nを除く全機種

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本ユニットをUVオゾン洗浄装置と組み合わせることにより、加熱しながら同時に洗浄表面改質をすることが可能です。

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本ユニットを使用することにより、より均一な紫外線照射を実現できます。