R&D用スキャン式エキシマ照射装置

R&D用エキシマ装置画像


172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。

特徴

  • スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。
  • オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。

装置仕様

R&D用スキャン式エキシマ照射装置
型式 ASM86 Excimer
発光波長 172nm
処理対象物 W86mm×D120mm以下、厚み40mm以下
照射距離調整 調整用ラボジャッキ付(照射距離0~40mmまで可変)
外形寸法 本体:(W)432mm×(D)510mm×(H)520.5mm (突起物を除く)
概算重量 約25kg (本体 20kg、照射ユニット 4.8kg)
本体材質 SUS304 / A5052P / SPCC
照射ユニット
ランプメーカー 浜松ホトニクス株式会社製
型式 FLAT EXCIMER EX-86U L13129
照射強度 50mW/cm2
照射面サイズ 86mm×40mm
エキシマ有効照射距離 5mm以内推奨
冷却方式 強制空冷
搬送部
テーブル材質 A5052P(位置合せ用スリット付)
遮光カバー PVC(UVカットイエロー)
処理速度 0.1mm/sec~40mm/sec
処理可動範囲 240mm
その他
タッチパネル 4インチ モノクロタッチパネル
レシピ数 20レシピ(処理速度、照射時間設定可能)
モニタ機能 現在速度・現在位置・残り時間 表示機能付き
排オゾン設備 オゾン触媒内蔵(ファン強制排気)
ユーティリティ AC100V 50/60Hz 400VA

動作モード動画



エキシマ照射装置についてのよくある質問はこちら


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