R&D用スキャン式エキシマ照射装置

172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。
【特徴】
- スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。
- オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。
R&D用スキャン式エキシマ照射装置 | |
型式 | ASM86 Excimer |
---|---|
発光波長 | 172nm |
処理対象物 | W86mm×D120mm以下、厚み40mm以下 |
照射距離調整 | 調整用ラボジャッキ付(照射距離0~40mmまで可変) |
外形寸法 | 本体:(W)432mm×(D)510mm×(H)520.5mm (突起物を除く) |
概算重量 | 約25kg (本体 20kg、照射ユニット 4.8kg) |
本体材質 | SUS304/A5052P/SPCC |
照射ユニット | |
ランプメーカー | 浜松ホトニクス株式会社製 |
型式 | FLAT EXCIMER EX-86U L13129 |
照射強度 | 50mW/c㎡ |
照射面サイズ | 86mm×40mm エキシマ有効照射距離 5mm以内推奨 |
冷却方式 | 強制空冷 |
搬送部 | |
テーブル材質 | A5052P(位置合せ用スリット付) |
遮光カバー | PVC(UVカットイエロー) |
処理速度 | 0.1mm/sec~120mm/sec |
処理可動範囲 | 240mm |
その他 | |
タッチパネル | 4インチ モノクロタッチパネル |
レシピ数 | 20レシピ(処理速度、照射時間設定可能) |
モニタ機能 | 現在速度・現在位置・残り時間 表示機能付き |
排オゾン設備 | オゾン触媒内蔵(ファン強制排気) |
ユーティリティ | AC100V 50/60Hz 400VA |
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