R&D用小型装置|製品紹介

コンパクトなR&D用一体型UVオゾン洗浄改質実験装置のベストセラーモデル！

50mm角対応ASM401Nとオゾン分解装置を一体化した、よりコンパクトなモデル。
従来場所をとっていたダクトやブロワなどの設置場所が不要です。

高出力・長寿命ランプを採用のスタンダードモデル。 コンパクト＆ローコスト、高出力を実現。
100mm角の推奨照射エリアをもち、研究開発からセミ生産用途まで幅広くご利用されています。

高出力・長寿命の110W低圧水銀ランプと回転ステージを組み合わせ、300角サイズのワークの処理が可能。

紫外線ランプを上下に二列配置することにより、100mm角のワークに対し、同時に両面照射が可能です。

200mm×200mmの処理が可能。試験研究からセミ生産まで対応可能。

高出力・長寿命ランプを採用 200W低圧水銀ランプを3本採用した、高出力・高均斉タイプ。 300mm×300mmの大面積の処理が可能。

仕様電源を単相100V、またUVランプの冷却方法を 従来の水冷から空冷にすることにより、 ユーティリティの負担を軽減した装置です。

照射空間を密閉構造とすることにより、N2やO2等の雰囲気下でUV照射を可能にいたしました。

特殊形状のランプにより、小型立体物への洗浄を可能。

UV洗浄表面改質装置の仕様比較表です。