エキシマ照射装置 カスタマイズ事例|エキシマ照射装置|製品紹介

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エキシマ照射装置 カスタマイズ事例

R&D用スキャン式エキシマ照射装置(400mm)

照射幅400mmのエキシマ照射ユニット用向けスキャン式照射装置です。
最大ワークサイズは400×800mm。

型式ASM400 Excimer
発光波長172nm
処理対象物W400mm×D800mm以下、厚み40mm以下
照射距離調整調整用ラボジャッキ付(照射距離0~40mmまで可変)
外形寸法本体:(W)760mm×(D)2000mm×(H)630mm (突起物を除く)
概算重量約122.7kg (本体 100kg、照射ユニット 10.3kg ランプ電源 12.4kg)
本体材質SUS304/A5052P/SPCC
照射ユニット
ランプメーカー浜松ホトニクス株式会社製
型式FLAT EXCIMER EX-400 L11751-01
照射強度65mW/c㎡
照射面サイズ400mm×38mm
エキシマ有効照射距離 5mm以内推奨
冷却方式強制空冷
搬送部
テーブル材質A5052P(位置合せ用スリット付)
遮光カバーPVC(UVカットイエロー)
処理速度0.1mm/sec~120mm/sec
処理可動範囲1000mm
その他
タッチパネル7インチ モノクロタッチパネル
レシピ数20レシピ(処理速度、照射時間設定可能)
モニタ機能現在速度、現在位置 表示機能付き
排オゾン設備オゾン触媒内蔵(ファン強制排気)
ユーティリティ単相200V 50/60Hz 1000VA

【本装置は、ユーザー様の仕様に合わせたものであり、オーダーメードが可能です。お気軽にご相談ください。】

フィルム用ステージ

吸着ステージでフィルムなど軽量ワークを固定しながら、エキシマ処理する為のユニットです。
ASM86 Excimerに対応しており、後からの導入も可能です。

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