エキシマ照射装置 カスタマイズ事例
R&D用スキャン式エキシマ照射装置(400mm)

照射幅400mmのエキシマ照射ユニット用向けスキャン式照射装置です。
最大ワークサイズは400×800mm。
型式 | ASM400 Excimer |
---|---|
発光波長 | 172nm |
処理対象物 | W400mm×D800mm以下、厚み40mm以下 |
照射距離調整 | 調整用ラボジャッキ付(照射距離0~40mmまで可変) |
外形寸法 | 本体:(W)760mm×(D)2000mm×(H)630mm (突起物を除く) |
概算重量 | 約122.7kg (本体 100kg、照射ユニット 10.3kg ランプ電源 12.4kg) |
本体材質 | SUS304/A5052P/SPCC |
照射ユニット | |
ランプメーカー | 浜松ホトニクス株式会社製 |
型式 | FLAT EXCIMER EX-400 L11751-01 |
照射強度 | 65mW/c㎡ |
照射面サイズ | 400mm×38mm エキシマ有効照射距離 5mm以内推奨 |
冷却方式 | 強制空冷 |
搬送部 | |
テーブル材質 | A5052P(位置合せ用スリット付) |
遮光カバー | PVC(UVカットイエロー) |
処理速度 | 0.1mm/sec~120mm/sec |
処理可動範囲 | 1000mm |
その他 | |
タッチパネル | 7インチ カラータッチパネル |
レシピ数 | 20レシピ(処理速度、照射時間設定可能) |
モニタ機能 | 現在速度、現在位置 表示機能付き |
排オゾン設備 | オゾン触媒内蔵(ファン強制排気) |
ユーティリティ | 単相200V 50/60Hz 1000VA |
【本装置は、ユーザー様の仕様に合わせたものであり、オーダーメードが可能です。お気軽にご相談ください。】
フィルム用ステージ

吸着ステージでフィルムなど軽量ワークを固定しながら、エキシマ処理する為のユニットです。
ASM86 Excimerに対応しており、後からの導入も可能です。
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