エキシマ照射装置 カスタマイズ事例
R＆D用スキャン式エキシマ照射装置(400mm)
照射幅400mmのエキシマ照射ユニット用向けスキャン式照射装置です。
最大ワークサイズは400×800mm。
| 型式 | ASM400 Excimer |
|---|---|
| 発光波長 | 172nm |
| 処理対象物 | W400mm×D800mm以下、厚み40mm以下 |
| 照射距離調整 | 調整用ラボジャッキ付（照射距離0～40mmまで可変） |
| 外形寸法 | 本体：（Ｗ）760mm×（D）2000mm×（Ｈ）630mm （突起物を除く） |
| 概算重量 | 約122.7kg （本体 100kg、照射ユニット 10.3kg ランプ電源 12.4kg） |
| 本体材質 | SUS304/A5052P/SPCC |
| 照射ユニット | |
| ランプメーカー | 浜松ホトニクス株式会社製 |
| 型式 | FLAT EXCIMER EX-400 L11751-01 |
| 照射強度 | 65mW/c㎡ |
| 照射面サイズ | 400mm×38mm エキシマ有効照射距離 5mm以内推奨 |
| 冷却方式 | 強制空冷 |
| 搬送部 | |
| テーブル材質 | A5052P（位置合せ用スリット付） |
| 遮光カバー | PVC（UVカットイエロー） |
| 処理速度 | 0.1mm/sec～120mm/sec |
| 処理可動範囲 | 1000mm |
| その他 | |
| タッチパネル | 7インチ カラータッチパネル |
| レシピ数 | 20レシピ（処理速度、照射時間設定可能） |
| モニタ機能 | 現在速度、現在位置 表示機能付き |
| 排オゾン設備 | オゾン触媒内蔵（ファン強制排気） |
| ユーティリティ | 単相200V 50/60Hz 1000VA |
【本装置は、ユーザー様の仕様に合わせたものであり、オーダーメードが可能です。お気軽にご相談ください。】
フィルム用ステージ
吸着ステージでフィルムなど軽量ワークを固定しながら、エキシマ処理する為のユニットです。
ASM86 Excimerに対応しており、後からの導入も可能です。
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