R&D用スキャン式エキシマ照射装置(400mm)

量産用エキシマ照射装置

照射幅400mmのエキシマ照射ユニット用向けスキャン式照射装置です。
最大ワークサイズは400×800mm。

型式 ASM400 Excimer
発光波長 172nm
処理対象物 W400mm×D800mm以下、厚み40mm以下
照射距離調整 調整用ラボジャッキ付(照射距離0~40mmまで可変)
外形寸法 本体:(W)760mm×(D)2000mm×(H)630mm (突起物を除く)
概算重量 約122.7kg (本体 100kg、照射ユニット 10.3kg ランプ電源 12.4kg)
本体材質 SUS304 / A5052P / SPCC
照射ユニット
ランプメーカー 浜松ホトニクス株式会社製
型式 FLAT EXCIMER EX-400 L11751-01
照射強度 65mW/cm2
照射面サイズ 400mm×38mm
エキシマ有効照射距離 5mm以内推奨
冷却方式 強制空冷
搬送部
テーブル材質 A5052P(位置合せ用スリット付)
遮光カバー PVC(UVカットイエロー)
処理速度 0.1mm/sec~120mm/sec
処理可動範囲 1000mm
その他
タッチパネル 7インチ カラータッチパネル
レシピ数 20レシピ(処理速度、照射時間設定可能)
モニタ機能 現在速度、現在位置 表示機能付き
排オゾン設備 オゾン触媒内蔵(ファン強制排気)
ユーティリティ 単相200V 50/60Hz 1000VA

※ 本装置は、ユーザー様の仕様に合わせたものであり、オーダーメードが可能です。お気軽にご相談ください。


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